JIMA RT RC-04分辨率测试卡

JIMA RT RC-04分辨率测试卡详细介绍：

JIMA RT RC-04分辨率测试卡是一种用于设置和测试微焦 X 射线系统的光刻生产的测试模式。它支持 0.1 µm 和 10 µm 之间的分辨率，对应于 0.2 µm 和 20 µm 之间的焦斑尺寸。不同距离的线束应用于硅载体

JIMA RT RC-04分辨率测试卡特点：

测试卡封装在一个防护盒中

盒子的外形尺寸（W×D×T）：40×30×5mm

芯片尺寸（W×D×T）：5×5×0.015mm

图案布局：T型

线/空间尺寸：32种规格图案,

0.1μm,0.15μm,0.2μm,0.25μm,0.3μm,0.35μm,0.4μm,0.5μm,0.6μm,0.7μm, 0.8μm,

0.9μm,1.0μm,1.5μm,2.0μm,3.0μm,4.0,5.0μm,6.0μm，7.0μm,8.0μm,9.0μm,10.0μm,
 

• 每个测试图案由 8 条线组成，T 形布局

• 吸收材料：钨，厚度>=650nm

• 保护膜：PET膜25μm（含粘合剂）

• 硅基：15 µm +/- 1 µm（厚度）

• 外壳尺寸：40 x 30 x 5 毫米（宽 x 高 x 深）

• 芯片尺寸：5 x 5 x 0.06mm（宽 x 高 x 深）

• 精度模式： 公差： +/- 10%

• 适用范围工作温度：10°C至70°C

JIMA RT RC-04分辨率测试卡用途：
在 X 射线系统的分辨率测试。选择检测器、样品和试管之间的距离，以便获得尽可能高的放大倍数。现在选择所需的 X 射线参数。将测试图案放置在试管前面，以便一束线条中的每条线条清晰可见。使用机械手进行溶出度测试，使下一个最小的线束变得可见。只要线条清晰，就继续。以下近似适用：焦点尺寸等于分辨率乘以 2。 


JIMA RT RC-04分辨率测试的布局+封装







 

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